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Y3T127 光器件失效分析之x-ray

2020-10-06 11:17:37

接着昨天来,分析光器件失效,超声波扫描显微镜和x-ray(就是咱们去医院照的x光)经常配合使用


超声波扫描显微镜,对空气敏感,可以探测材料裂纹、气泡、分层等等。


x-ray对于金属连接线的断路、短路分析很有效果。


x射线波长在0.01~10nm,比可见光波长短



▼电磁波谱总表

范围频率波长
无线电波

3Hz

~

3000GHz

10万公里

~

0.1毫米

红外线

300GHz

~

384THz

1毫米

~

760纳米

可见光

384THz

~

789THz

760纳米

~

380纳米

紫外线

789THz

~

30000THz

380纳米

10纳米

X射线

30000THz

~

3x10^19 Hz

10纳米

~

0.01纳米

γ射线

3x10^18 Hz

~

3x10^22 Hz

100皮米

~

0.01皮米

宇宙射线≥10^22Hz

<0.01皮米


波长短,有什么用? 通常固体中原子分布,比如金属,原子间距在1nm级别。


小于1nm的x射线就可以穿过原子,


而几十/几百纳米的紫外线就没办法穿透




x射线,不是全部穿透原子,有一部分射线能量被原子外层电子吸收成为自由电子,发生电离现象。


人体照射x光照片,一部分能量被吸收到体内,造成伤害。



比如激光器要封装,我们肉眼看起来下图这样

实际里边是这样




如果给器件加x-ray



会看到金丝有脱落现象



下左是未拆封的器件x-ray照片,下右是拆盖后扫描电镜下的金丝断裂图





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