在光通信、显微和望远等成像系统、自适应光学、光镊等许多应用领域中，都会涉及到光相位的调制，这时就需要用到一种新型的可编程光学仪器——空间光调制器。
空间光调制器是采用LCOS（Liquid Crystal On Silicon, 硅基液晶）芯片来调节光波前的振幅或相位的光学器件。
LCOS芯片是由液晶像元组成的像素阵列，每个像素都能单独地调制光。对于同一束光来说，像元的尺寸越小，调制得就越精细；像素的个数就是芯片的分辨率，分辨率越高，可调制的自由度就越高。
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我的天呐，这么神奇吗？这个小伙伴可以操纵光！
从早期的铁电物质和扭曲向列液晶结构开始，到利用光电寻址。。其空间光调制器目前主要在高端市场中，以高线性度、高光利用率、高衍射效率等性能著称。
对于滨松空间光调制器LCOS本身的性质来说，它只改变光的相位，而不影响光的强度和偏振状态（振幅/光强的调制需要通过光路来实现）。通过改变电压来改变液晶的排列方式，相位调制随着液晶的排列方式而变化。通过CMOS背板和PC输出的DVI信号，液晶的排列是单像素可控的。
而在文章开头我们也提到，空间光调制器涉及的应用比较多，那要怎么根据自己的研究需求来选择一位最得力的小伙伴呢？许多用户朋友可能在心里画了一个大写的问号。
为了帮助各位用户亲人与这个问题say goodbye，这里，我们从滨松空间光调制器X10468/X13267/X13138系列出发，和大家聊一聊，关于空间光调制器选择的二三事~
LCOS是由像素阵列组成的，目前滨松可以提供两种分辨率：792×600， 1272×1024；对于792×600分辨率的产品，还有两种像元大小可供选择：20μm，12.5μm。
*不同的分辨率和像元大小以系列表示在产品型号的前半部分，如X10468-08，X10468指的就是该型号的产品分辨率为792×600，像元大小为20μm；350g指LCOS头的重量。
表中的“有效面积（Effecttive area size）”是指LCOS头上可以对光进行调制的液晶面的面积。而用户在选型时，需要考虑该面积是否可以容纳下所需调制的光斑大小。
“填充因子（Fill factor）”则是指单个像素有效面积占总面积的百分比，它在影响光利用率方面比较关键。（光利用率在后文会将介绍）
需要特别注意的是，不是所有品牌的产品所标示的“填充因子（Fill factor）”都是一个概念！
一些品牌的填充因子（Fill factor）占比并没有考虑像素间间距（Inter pixel gap），所以通常此项的百分比很高，参数显得很“漂亮”（其填充因子占比计算方法见下图）。但用户不了解的是，其实其Inter pixel gap却很大，有的甚至高达1.3μm。
滨松则本着实事求是的原则，将真正意义上的Fill factor呈现出来，并且保持了超小的Inter pixel gap：0.2μm。（滨松填充因子占比计算方法见下图）
滨松每个系列（X10468/X13267/X13138）的LCOS产品都包含九个不同的型号，以-01~-09在型号的末尾表示。如X10468-07中的-07就是指该型号的产品可调制波长范围为620nm-1100nm。
*虚线范围所指含义：对于-05型号来说，波长小于400nm的紫外光会对LCOS造成损伤，更多细节请向我们咨询。对于-08型号，波长1350nm-1400nm这一段由于玻璃基片的吸收会导致反射率（光利用率）下降约5%。
LCOS是不能照射超过阈值的光的，如果超过阈值光强，则会发生损伤，轻则线性度下降，重则液晶层融化。
滨松LCOS的光阈值在同类产品中属于较高的水平，具体值由于型号、波长、用户使用的光源类型不同会有很大差异，选型时，一定要参考样本中产品可承受最大光强阈值表。
另外，从波长选型中可以看到，-01到-09这九种型号中，-01，-07，-08这三种型号的波长范围较长；而-02,-03,-04,-05,-06,-09这几种型号的波长范围较短，这是因为它们在液晶的底层加了介质镜（Dielectric mirror），大大提高了光阈值和光利用率，但也将波长范围限制在一个比较小的范围内。用户需要根据应用的需求进行选择。
在空间光调制器的参数表中，包含着几个重要的性能参数，需要用户特别地关注:光利用率（反射率）、一级衍射效率
线性度、稳定性
为了提高光的利用率，在调制的过程中将光能的损失降到最低。滨松的LCOS均为反射式，这里光利用率就定义为光经过LCOS液晶面反射的反射率，即平均反射光强占入射光强的百分比。
反射率的测试方法
滨松各型号光利用率参考表
*除此之外，滨松可以提供355nm-1550nm范围内的OEM定制产品，根据应用，专门优化所需波长。
而一些品牌将“反射率”称为“零级衍射效率”，这其实是同一个概念。所以，千万不要把“零级衍射效率/光利用率/反射率”与“一级衍射效率”混淆。
这里的“一级衍射效率”其实才是LCOS真正的“衍射效率”，是通过加载闪耀光栅时（将LCOS作为光栅使用）一级衍射光的能量占零级衍射光能量的百分比来定义的。加载闪耀光栅时，光斑级次如下图所示：
（a）未加载光栅。
（b）加载2-level光栅，空间分辨率为25线对/mm，图中为±1级光及0级光。
（c）加载4-level光栅，相当于12.5线对/mm的空间分辨率。
而搭建一个简单的光路，用户便可自行使用光功率计实现衍射效率的检测：
光栅level/steps越高，空间分辨率就越低，但是衍射效率越高。对于X10468系列，光栅level/steps和空间分辨率lp/mm之间呈现出这样的对应关系：
2 steps | 4 steps | 8 steps | 16 steps |
25lp/mm | 12.5lp/mm | 6.25lp/mm | 3.125lp/mm |
而滨松LCOS由于其纯相位高精度的相位控制，具有接近理论值的超高衍射效率。
X10468系列衍射效率数值
*如需其他型号的数据和计算方法，以及LCOS-SLM空间光调制器衍射效率测试（一级衍射效率）示例，请在公众号中留言索取。
另外，需要特别注意的是，实验室静电有可能造成衍射效率的下降，这里也提醒大家在使用空间光调制器时，请注意防护。
相位调制的线性度在光调制的精度方面是一个至关重要的参数。滨松空间光调制器追求等高精度的调制，所以在线性度方面有着公认的满意表现。
滨松空间光调制器线性度
在平均值和标准差的线性度都呈现极佳状态
对于一些单纯追求相位调制范围或分辨率的产品，线性度容易被忽略，这样就在调制精度方面存在问题。这在下图中能看出：
我们可以看到，该产品在0-2π区间范围内线性度较差，而大部分应用主要使用的都是0-2π这个范围内。因为从波动光学的角度来说，像差2π的整数倍的两个相位的光，是可以进行等效的。
在光调制的精度方面还有一个重要参数，是相位的稳定性。因为LCOS是通过交流电来驱动的，所以输出光会随着驱动频率而浮动，下图所示的是-04型号的相位浮动范围。其中X10468和X13267系列的驱动频率是240Hz（SVGA），稳定性在±0.01π以内；而X13138系列的驱动频率是120Hz（SXGA），虽然比SVGA驱动的两个系列稍差一些，但也能维持在±0.03π以内。
除了参数意义上的“稳定性”外，这里再扩展一下，聊一聊空间光调制器“链接”的稳定性。
对于空间光调制器这类产品，欧盟国家有着这样的规定，如是非欧盟国产品想进入其市场，就需要通过严格的CE认证。这就要求产品的接线和连接器都非常结实，不受噪声干扰。虽然这让滨松LCOS的体积会相对较大，但也保证了它的质量和耐用性要超过其他未经CE认证的产品。
*部分产品为欧盟国的品牌，则不需CE认证便可直接在其领域内销售。
有些用户可能会提到排线的连接方式，这样虽然减小了体积，但不耐使用，且损坏率较高。
其实在使用LCOS时，只需要把LCOS头放在光学平台上，把控制箱另置在操作台的架子上，就可以解决其占地过大的问题了。
好了，以上聊了这么多，希望对各位理解空间光调制器的参数和选型有一定帮助。当然，要最终选得一款心仪的产品，可能还会遇到许多特殊的问题。
这个时候，就敬请向滨松的工程师咨询吧！~我们的联系方式在公众号的“菜单栏-走得更近-联系我们”中可以获得。当然，也可以在公众号中留言，我们会第一时间答复~~
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